Etude de la redistribution et de l'activation après traitement thermique des dopants dans des films Si LPCVD dopés bore et codopes bore azote à de fortes concentrations
|
Exemplaires (1)
| Code-barres | Cote | Support | Localisation | Section | Disponibilité |
|---|---|---|---|---|---|
| MAH/3981 | MAH/3981 | Thèse | Bibliothèque principale | Thèses | Disponible |
