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Auteur Leila Bouledjnib |
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Affiner la recherche Interroger des sources externesCaracterisation de films minces déposés par plasma RCER à partir de diphenylemethèesilane (DPMS) en vue de l'obtention d'un materiau à faible permitivité (low k) pour des applications microelectroniques / Leila Bouledjnib
Titre : Caracterisation de films minces déposés par plasma RCER à partir de diphenylemethèesilane (DPMS) en vue de l'obtention d'un materiau à faible permitivité (low k) pour des applications microelectroniques Type de document : texte imprimé Auteurs : Leila Bouledjnib ; Univ. de Constantine, Éditeur scientifique ; S. Sahèi, Directeur de thèse Année de publication : 2005 Importance : 67 f. Note générale : 01 Disponible à la salle de recherche 02 Disponibles au magazin de la bibliothèque centrale
01 CDLangues : Français (fre) Catégories : Français - Anglais
ElectroniqueTags : Matériau Films minces Diphenylemethèesilane Faible permitivité Applications microelectroniques Index. décimale : 621 Electronique Résumé : The aim of this work deals with the study of dielectric, physico-chemical properties and the step voltage responses of thin films deposited by plasma PECVD in microwave DECR plasma reactor have been studied. The films were elaborated from pur biphenylmethylsilane (DPMS) vapor or in a mixture with a partial pressure of oxygen. The physico-chemical analysis allowed us to identify the different chemical elements present in the deposited DPMS films, with and without the addition of oxygen. The chemical composition was influenced by the power discharge of the plasma. The dielectrical analysis has permitted to evaluat the influence of the chemical composition on the dielectric constant as well as on the losses dielectric of the deposited films.
The films responses to step voltage excitation have shown the presence of a transient current regardless of the discharges parametres. The analysis of the absorption and resorption current suggest a conduction limited by space charge mechanism which may be responsible for the transient currents. The carriers movement can be controlled by the mechanism of conduction limited by space charge and/or Poole Frenkel effect.Diplôme : Magistère En ligne : ../theses/electronique/BOU4303.pdf Permalink : index.php?lvl=notice_display&id=2741 Caracterisation de films minces déposés par plasma RCER à partir de diphenylemethèesilane (DPMS) en vue de l'obtention d'un materiau à faible permitivité (low k) pour des applications microelectroniques [texte imprimé] / Leila Bouledjnib ; Univ. de Constantine, Éditeur scientifique ; S. Sahèi, Directeur de thèse . - 2005 . - 67 f.
01 Disponible à la salle de recherche 02 Disponibles au magazin de la bibliothèque centrale
01 CD
Langues : Français (fre)
Catégories : Français - Anglais
ElectroniqueTags : Matériau Films minces Diphenylemethèesilane Faible permitivité Applications microelectroniques Index. décimale : 621 Electronique Résumé : The aim of this work deals with the study of dielectric, physico-chemical properties and the step voltage responses of thin films deposited by plasma PECVD in microwave DECR plasma reactor have been studied. The films were elaborated from pur biphenylmethylsilane (DPMS) vapor or in a mixture with a partial pressure of oxygen. The physico-chemical analysis allowed us to identify the different chemical elements present in the deposited DPMS films, with and without the addition of oxygen. The chemical composition was influenced by the power discharge of the plasma. The dielectrical analysis has permitted to evaluat the influence of the chemical composition on the dielectric constant as well as on the losses dielectric of the deposited films.
The films responses to step voltage excitation have shown the presence of a transient current regardless of the discharges parametres. The analysis of the absorption and resorption current suggest a conduction limited by space charge mechanism which may be responsible for the transient currents. The carriers movement can be controlled by the mechanism of conduction limited by space charge and/or Poole Frenkel effect.Diplôme : Magistère En ligne : ../theses/electronique/BOU4303.pdf Permalink : index.php?lvl=notice_display&id=2741 Exemplaires (1)
Code-barres Cote Support Localisation Section Disponibilité BOU/4303 BOU/4303 Thèse Bibliothèque principale Thèses Disponible
Titre : Investigations sur l’évolution de la constante diélectrique dans les matériaux hétérogènes. : Applications aux couches minces déposées par plasma à partir de vapeurs de DPMS Type de document : texte imprimé Auteurs : Leila Bouledjnib, Auteur ; Salah Sahli, Directeur de thèse Editeur : Constantine : Université Mentouri Constantine Année de publication : 2012 Importance : 114 f. Format : 30 cm. Note générale : Doctorat en Sciences
2 copies imprimées disponiblesLangues : Français (fre) Catégories : Français - Anglais
ElectroniqueTags : la constante diélectrique les matériaux hétérogènes DPMS Index. décimale : 621 Electronique Diplôme : Doctorat en sciences En ligne : ../theses/electronique/BOU6319.pdf Format de la ressource électronique : Permalink : index.php?lvl=notice_display&id=6282 Investigations sur l’évolution de la constante diélectrique dans les matériaux hétérogènes. : Applications aux couches minces déposées par plasma à partir de vapeurs de DPMS [texte imprimé] / Leila Bouledjnib, Auteur ; Salah Sahli, Directeur de thèse . - Constantine : Université Mentouri Constantine, 2012 . - 114 f. ; 30 cm.
Doctorat en Sciences
2 copies imprimées disponibles
Langues : Français (fre)
Catégories : Français - Anglais
ElectroniqueTags : la constante diélectrique les matériaux hétérogènes DPMS Index. décimale : 621 Electronique Diplôme : Doctorat en sciences En ligne : ../theses/electronique/BOU6319.pdf Format de la ressource électronique : Permalink : index.php?lvl=notice_display&id=6282 Exemplaires (1)
Code-barres Cote Support Localisation Section Disponibilité BOU/6319 BOU/6319 Thèse Bibliothèque principale Thèses Disponible
