Catalogue des Mémoires de master

Titre : |
Contribution à la Modélisation d’un Instrument de Gravure dans le Mélange Argon/Oxygène |
Type de document : |
texte imprimé |
Auteurs : |
Lina Zebiri, Auteur ; Oumeima Hamdouche, Auteur ; Fouzi Bouanaka, Directeur de thèse |
Editeur : |
CONSTANTINE [ALGERIE] : Université Frères Mentouri Constantine |
Année de publication : |
2020 |
Importance : |
70 f. |
Format : |
30cm. |
Note générale : |
Une copie electronique PDF disponible au BUC. |
Langues : |
Français (fre) |
Catégories : |
Sciences de la technologie:Electronique
|
Tags : |
Réacteur GEC ICP radiofréquence RF gravure plasma basse pression modèle
fluide mélange Ar/O2 bombardement ionique l’angle d’incidence. |
Index. décimale : |
610 Electronique |
Résumé : |
Dans ce mémoire, nous avons présenté un modèle d’un instrument de gravure dans le mélange
Argon/Oxygène élaboré par le logiciel de simulation COMSOL Multiphysics 4.3a en
géométrie 2D. L’objectif de ce travail est d’étudier les propriétés de la décharge et le
bombardement ionique sur la surface du substrat de Si, ainsi le modèle présenté repose sur la
résolution du système d’équations (équation du mouvement des ions, les équations de
transports, équation d’énergie pour les électrons, équation de Poisson, et les équations de
Maxwell) qui régissent le comportementde la décharge.
Nous avons commencé notre simulation sur un réacteur GEC ICP, dans le cas d’argon pur
pour étudier l’effet de la puissance sur les paramètres de décharge plasma et la position des
ions dans le réacteur. Par la suite nous avons exploité le modèle pour faire une deuxième
simulation dans le mélange gazeux Argon/Oxygène pour différents taux d’argon afin étudier
leur effet sur les grandeurs caractéristiques du plasma et la trajectoire des ions dans le
réacteur.
Nous avons remarqué que la densité et la température électronique variée en fonction de la
puissance et le taux d’argon, la majorité des ions ont la même énergie de bombardement
ionique et sont bombardé le substrat au même angle d’incidence et la variation d’oxygène
contrôle l’angle d’incidence des ions. |
Diplome : |
Master 2 |
Permalink : |
https://bu.umc.edu.dz/master/index.php?lvl=notice_display&id=14796 |
Contribution à la Modélisation d’un Instrument de Gravure dans le Mélange Argon/Oxygène [texte imprimé] / Lina Zebiri, Auteur ; Oumeima Hamdouche, Auteur ; Fouzi Bouanaka, Directeur de thèse . - CONSTANTINE [ALGERIE] : Université Frères Mentouri Constantine, 2020 . - 70 f. ; 30cm. Une copie electronique PDF disponible au BUC. Langues : Français ( fre)
Catégories : |
Sciences de la technologie:Electronique
|
Tags : |
Réacteur GEC ICP radiofréquence RF gravure plasma basse pression modèle
fluide mélange Ar/O2 bombardement ionique l’angle d’incidence. |
Index. décimale : |
610 Electronique |
Résumé : |
Dans ce mémoire, nous avons présenté un modèle d’un instrument de gravure dans le mélange
Argon/Oxygène élaboré par le logiciel de simulation COMSOL Multiphysics 4.3a en
géométrie 2D. L’objectif de ce travail est d’étudier les propriétés de la décharge et le
bombardement ionique sur la surface du substrat de Si, ainsi le modèle présenté repose sur la
résolution du système d’équations (équation du mouvement des ions, les équations de
transports, équation d’énergie pour les électrons, équation de Poisson, et les équations de
Maxwell) qui régissent le comportementde la décharge.
Nous avons commencé notre simulation sur un réacteur GEC ICP, dans le cas d’argon pur
pour étudier l’effet de la puissance sur les paramètres de décharge plasma et la position des
ions dans le réacteur. Par la suite nous avons exploité le modèle pour faire une deuxième
simulation dans le mélange gazeux Argon/Oxygène pour différents taux d’argon afin étudier
leur effet sur les grandeurs caractéristiques du plasma et la trajectoire des ions dans le
réacteur.
Nous avons remarqué que la densité et la température électronique variée en fonction de la
puissance et le taux d’argon, la majorité des ions ont la même énergie de bombardement
ionique et sont bombardé le substrat au même angle d’incidence et la variation d’oxygène
contrôle l’angle d’incidence des ions. |
Diplome : |
Master 2 |
Permalink : |
https://bu.umc.edu.dz/master/index.php?lvl=notice_display&id=14796 |
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