| Titre : |
Investigations sur l’utilisation de la spectrométrie dans le processus de dépôt de couches minces |
| Type de document : |
texte imprimé |
| Auteurs : |
Adlène Rédha Hamdi, Auteur ; S Sahli, Directeur de thèse |
| Editeur : |
CONSTANTINE [ALGERIE] : Université Frères Mentouri Constantine |
| Année de publication : |
2015 |
| Importance : |
44 f. |
| Format : |
30 cm. |
| Note générale : |
Une copie électronique PDF disponible en BUC. |
| Langues : |
Français (fre) |
| Catégories : |
Sciences de la technologie:Electronique
|
| Tags : |
Microélectronique l’utilisation de la spectrométrie processus dépôt de couches minces |
| Index. décimale : |
610 Electronique |
| Résumé : |
Dans ce mémoire, le but a été qu’à partir de cette étude et aux caractérisations par
spectroscopie optique SEO, et par spectroscopie à infrarouge FTIR, nous puissions être en
mesure de savoir de quoi est constitué notre plasma, et donc de connaitre la nature des dépôts
de nos couches minces futures, et quelles sont les paramètres qui puissent influencer sa
nature.
Nous avons présenté dans un premier temps des généralités sur les couches minces, le
plasma, et la spectroscopie optique. Puis fait une description du principe de fonctionnement
des dispositifs expérimentaux utilisés pour notre étude : le bâtis de dépôt des couches minces
par plasma PECVD, la spectroscopie d’émissions optique SEO, et la spectroscopie a
transformé de fourrier FTIR.
Ensuite nous avons fait une analyse des différents spectres d’émissions du plasma
obtenu lors du dépôt à chaque variation de paramétrages (temps de dépôt, pression, et
puissance de décharge) et ceci dans le but de voir leurs effets sur le spectre plasma. Les
résultats de cette analyse nous ont permis de constater que plus on varie la puissance de
décharge plus il y’a une variation dans la création d’espèces issus de la fragmentation par
plasma de la molécule du précurseur HMDSO, et que plus on augmente la pression plus
certaines de ses espèces soit disparaisse ou se modifie en se recombinant avec d’autres, et
pareilles changements sont aussi constatable en fonction du temps.
Enfin en faisant une caractérisation des couches minces par FTIR nous avons
diagnostiqué que la couche mince est à l’image du plasma, et que la nature de la couche varie
en fonction du paramétrage utilisé.
On n’a conclu donc que les paramètres : temps de dépôt, pression dans l’enceinte, et
puissance de décharge, ont tous une influence plus ou moins direct sur la nature de nos dépôts
et sa composition chimique.
Et qu’en perspective d’une confirmation intégrale de ces interprétations rapportées
d’autres techniques d’études complémentaires sont possibles |
| Diplome : |
Master 2 |
| Permalink : |
https://bu.umc.edu.dz/master/index.php?lvl=notice_display&id=8126 |
Investigations sur l’utilisation de la spectrométrie dans le processus de dépôt de couches minces [texte imprimé] / Adlène Rédha Hamdi, Auteur ; S Sahli, Directeur de thèse . - CONSTANTINE [ALGERIE] : Université Frères Mentouri Constantine, 2015 . - 44 f. ; 30 cm. Une copie électronique PDF disponible en BUC. Langues : Français ( fre)
| Catégories : |
Sciences de la technologie:Electronique
|
| Tags : |
Microélectronique l’utilisation de la spectrométrie processus dépôt de couches minces |
| Index. décimale : |
610 Electronique |
| Résumé : |
Dans ce mémoire, le but a été qu’à partir de cette étude et aux caractérisations par
spectroscopie optique SEO, et par spectroscopie à infrarouge FTIR, nous puissions être en
mesure de savoir de quoi est constitué notre plasma, et donc de connaitre la nature des dépôts
de nos couches minces futures, et quelles sont les paramètres qui puissent influencer sa
nature.
Nous avons présenté dans un premier temps des généralités sur les couches minces, le
plasma, et la spectroscopie optique. Puis fait une description du principe de fonctionnement
des dispositifs expérimentaux utilisés pour notre étude : le bâtis de dépôt des couches minces
par plasma PECVD, la spectroscopie d’émissions optique SEO, et la spectroscopie a
transformé de fourrier FTIR.
Ensuite nous avons fait une analyse des différents spectres d’émissions du plasma
obtenu lors du dépôt à chaque variation de paramétrages (temps de dépôt, pression, et
puissance de décharge) et ceci dans le but de voir leurs effets sur le spectre plasma. Les
résultats de cette analyse nous ont permis de constater que plus on varie la puissance de
décharge plus il y’a une variation dans la création d’espèces issus de la fragmentation par
plasma de la molécule du précurseur HMDSO, et que plus on augmente la pression plus
certaines de ses espèces soit disparaisse ou se modifie en se recombinant avec d’autres, et
pareilles changements sont aussi constatable en fonction du temps.
Enfin en faisant une caractérisation des couches minces par FTIR nous avons
diagnostiqué que la couche mince est à l’image du plasma, et que la nature de la couche varie
en fonction du paramétrage utilisé.
On n’a conclu donc que les paramètres : temps de dépôt, pression dans l’enceinte, et
puissance de décharge, ont tous une influence plus ou moins direct sur la nature de nos dépôts
et sa composition chimique.
Et qu’en perspective d’une confirmation intégrale de ces interprétations rapportées
d’autres techniques d’études complémentaires sont possibles |
| Diplome : |
Master 2 |
| Permalink : |
https://bu.umc.edu.dz/master/index.php?lvl=notice_display&id=8126 |
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