Mise en Å“uvre d’un bâti de dépôt de couches minces / Kaad Choubeila 

Public ISBD Titre : Mise en Å“uvre d’un bâti de dépôt de couches minces Type de document : texte imprimé Auteurs : Kaad Choubeila, Auteur ; Mohamed Houssem Eddine Mallen, Auteur ; S Sahli, Directeur de thèse Editeur : CONSTANTINE [ALGERIE] : Université Frères Mentouri Constantine Année de publication : 2020 Importance : 68 f. Format : 30cm. Note générale : Une copie electronique PDF disponible au BUC. Langues : Français (fre) Catégories : Sciences de la technologie:Electronique Tags : Bâti de dépôt  évaporation thermique  couche mince  pompes  le vide. Index. décimale : 610 Electronique Résumé : Dans ce travail nous avons mis en Å“uvre un bâti de dépôt de couches minces par évaporation thermique sous vide au niveau du Laboratoire Microsystèmes et Instrumentation (LMI) de l'Université Frères Mentouri de Constantine. Ce bâti est destiné à la métallisation de structures pouvant être utilisées dans divers domaines de la microélectronique comme la réalisation d'électrodes interdigitées. Une fois mis en Å“uvre, nous avons fait des tests de vide à l'intérieur de l'enceinte de dépôt. Pour cela, nous avons étudié la vitesse de pompage en vide primaire puis nous avons étudié la remontée de la pression une fois l'enceinte de dépôt isolée après un pompage primaire puis le relevé après un pompage secondaire. La pression atteinte dans l'enceinte après un pompage secondaire d'une durée d'environ 30 min est inférieure à quelques 10-5 mbar, ce qui montre que notre bâti peut être utilisé facilement pour le dépôt par évaporation thermique sous vide Diplome : Master 2 Permalink : https://bu.umc.edu.dz/master/index.php?lvl=notice_display&id=14494 Mise en Å“uvre d’un bâti de dépôt de couches minces [texte imprimé] / Kaad Choubeila, Auteur ; Mohamed Houssem Eddine Mallen, Auteur ; S Sahli, Directeur de thèse . - CONSTANTINE [ALGERIE] : Université Frères Mentouri Constantine, 2020 . - 68 f. ; 30cm. Une copie electronique PDF disponible au BUC. Langues : Français (fre) Catégories : Sciences de la technologie:Electronique Tags : Bâti de dépôt  évaporation thermique  couche mince  pompes  le vide. Index. décimale : 610 Electronique Résumé : Dans ce travail nous avons mis en Å“uvre un bâti de dépôt de couches minces par évaporation thermique sous vide au niveau du Laboratoire Microsystèmes et Instrumentation (LMI) de l'Université Frères Mentouri de Constantine. Ce bâti est destiné à la métallisation de structures pouvant être utilisées dans divers domaines de la microélectronique comme la réalisation d'électrodes interdigitées. Une fois mis en Å“uvre, nous avons fait des tests de vide à l'intérieur de l'enceinte de dépôt. Pour cela, nous avons étudié la vitesse de pompage en vide primaire puis nous avons étudié la remontée de la pression une fois l'enceinte de dépôt isolée après un pompage primaire puis le relevé après un pompage secondaire. La pression atteinte dans l'enceinte après un pompage secondaire d'une durée d'environ 30 min est inférieure à quelques 10-5 mbar, ce qui montre que notre bâti peut être utilisé facilement pour le dépôt par évaporation thermique sous vide Diplome : Master 2 Permalink : https://bu.umc.edu.dz/master/index.php?lvl=notice_display&id=14494

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