| Titre : |
Caractérisation de l’anisotropie de couches minces AlN déposées par PVD |
| Type de document : |
texte imprimé |
| Auteurs : |
Badis Riah, Auteur ; Rouag D., Directeur de thèse |
| Editeur : |
CONSTANTINE [ALGERIE] : Université Frères Mentouri Constantine |
| Année de publication : |
2014 |
| Importance : |
43 f. |
| Format : |
30 cm. |
| Note générale : |
Une copie electronique PDF disponible en BUC. |
| Langues : |
Français (fre) |
| Catégories : |
Sciences Exactes:Physique
|
| Tags : |
Propriétés structurales des matériaux couches minces |
| Index. décimale : |
530 Physique |
| Résumé : |
Nous nous sommes intéressés au cours de cette étude à la caractérisation de la texture et à la
morphologie de films minces AlN, élaborés par dépôt physique en phase vapeur (PVD). Le
nitrure AlN peut exister sous forme hexagonale, phase stable, ou sous forme cubique, phase
métastable. Nous avons considéré l’influence de l’épaisseur et du substrat, Si(001) et Pt (111),
sur la morphologie et l’anisotropie des films. Nous avons utilisé deux méthodes de
caractérisation, la microscopie électronique à balayage pour l’étude morphologique et la
diffractions des rayons X (DRX) pour l’étude de texture. Les résultats obtenus sont présentés
et discutés sur des figures de pôles. La FDOC est calculée selon la nouvelle méthode MTEX
disponible sous MATLAB. Le film d’AlN déposé sur Pt possède une plus forte rugosité que
celui déposé sur Si. La surface présente des sommets de colonnes sphériques, les
micrographies sur la tranche confirment que le dépôt sur Pt présente une meilleure cristallinité
colonnaire. Le film le moins épais (100nm) a une rugosité très faible et ne présente pas une
morphlogie particuliere. Lorsque l’épaisseur augmente, on observe des sommets de colonnes
sphériques, Pour les films déposés sur Si, la fibre (0001) devient parfaite à 800nm, c’est-à -dire
qu’il n’y que cette orientation pour la phase hexagonale. Par contre, à 1200nm, l’acuité de
cette fibre diminue fortement, avec l’apparition de composantes (1011) et (1012). Pour AlN
déposé sur Pt, la fibre (0001) est bien visible pour les deux épaisseurs, elle est plus marquée
pour 3µm. Nous avons fait une identification et une analyse qualitative de la phase cubique. |
| Diplome : |
Master 2 |
| Permalink : |
https://bu.umc.edu.dz/master/index.php?lvl=notice_display&id=7913 |
Caractérisation de l’anisotropie de couches minces AlN déposées par PVD [texte imprimé] / Badis Riah, Auteur ; Rouag D., Directeur de thèse . - CONSTANTINE [ALGERIE] : Université Frères Mentouri Constantine, 2014 . - 43 f. ; 30 cm. Une copie electronique PDF disponible en BUC. Langues : Français ( fre)
| Catégories : |
Sciences Exactes:Physique
|
| Tags : |
Propriétés structurales des matériaux couches minces |
| Index. décimale : |
530 Physique |
| Résumé : |
Nous nous sommes intéressés au cours de cette étude à la caractérisation de la texture et à la
morphologie de films minces AlN, élaborés par dépôt physique en phase vapeur (PVD). Le
nitrure AlN peut exister sous forme hexagonale, phase stable, ou sous forme cubique, phase
métastable. Nous avons considéré l’influence de l’épaisseur et du substrat, Si(001) et Pt (111),
sur la morphologie et l’anisotropie des films. Nous avons utilisé deux méthodes de
caractérisation, la microscopie électronique à balayage pour l’étude morphologique et la
diffractions des rayons X (DRX) pour l’étude de texture. Les résultats obtenus sont présentés
et discutés sur des figures de pôles. La FDOC est calculée selon la nouvelle méthode MTEX
disponible sous MATLAB. Le film d’AlN déposé sur Pt possède une plus forte rugosité que
celui déposé sur Si. La surface présente des sommets de colonnes sphériques, les
micrographies sur la tranche confirment que le dépôt sur Pt présente une meilleure cristallinité
colonnaire. Le film le moins épais (100nm) a une rugosité très faible et ne présente pas une
morphlogie particuliere. Lorsque l’épaisseur augmente, on observe des sommets de colonnes
sphériques, Pour les films déposés sur Si, la fibre (0001) devient parfaite à 800nm, c’est-à -dire
qu’il n’y que cette orientation pour la phase hexagonale. Par contre, à 1200nm, l’acuité de
cette fibre diminue fortement, avec l’apparition de composantes (1011) et (1012). Pour AlN
déposé sur Pt, la fibre (0001) est bien visible pour les deux épaisseurs, elle est plus marquée
pour 3µm. Nous avons fait une identification et une analyse qualitative de la phase cubique. |
| Diplome : |
Master 2 |
| Permalink : |
https://bu.umc.edu.dz/master/index.php?lvl=notice_display&id=7913 |
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Affiner la recherche
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