| Titre : |
Elaboration et étude de couches minces de a-SiC:H déposées par pulvérisation DC magnétron |
| Type de document : |
texte imprimé |
| Auteurs : |
Imene Abdennebi, Auteur ; K. Mirouh, Directeur de thèse |
| Editeur : |
CONSTANTINE [ALGERIE] : Université Frères Mentouri Constantine |
| Année de publication : |
2011 |
| Importance : |
99 f. |
| Format : |
30 cm. |
| Note générale : |
Une copie electronique PDF disponible en BUC.
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| Langues : |
Français (fre) |
| Catégories : |
Sciences Exactes:Physique
|
| Tags : |
Couches Minces pulvérisation DC magnétron |
| Index. décimale : |
530 Physique |
| Résumé : |
Ce travail porte sur l‟étude des propriétés physico-chimiques, structurales et optiques des couches minces de carbure de silicium amorphe hydrogéné. Ces couches ont été déposées par pulvérisation magnétron sur deux types se substrats, le silicium monocristallin de type p et le verre Corning pour étudier respectivement leurs caractéristiques physico-chimiques et optiques. Trois températures de dépôt ont été utilisées 150, 250 et 350°C. Les couches ainsi préparées ont été caractérisées, principalement, par DRX, ellipsométrie, UV-Visible, Infrarouge et photoluminescence. L‟analyse par DRX a montré que tous échantillons déposés sont complètement amorphes. L‟investigation infrarouge confirme l‟aspect amorphe du matériau et a révélé l‟existence de plusieurs liaisons chimiques existent (Si-H, C-H, C-C, Si-Hn). L‟épaisseur, l‟indice de réfraction ainsi que le gap optique de chaque couche mince ont été déterminés par l‟ellipsométrie. Les mesures de photoluminescence ont montré un caractère plus photoluminescent pour carbure de silicium amorphe hydrogéné déposé à 250°C. Enfin l‟effet du recuit thermique des couches a-SiC : H a été étudié. |
| Diplome : |
Master 2 |
| Permalink : |
https://bu.umc.edu.dz/master/index.php?lvl=notice_display&id=6394 |
Elaboration et étude de couches minces de a-SiC:H déposées par pulvérisation DC magnétron [texte imprimé] / Imene Abdennebi, Auteur ; K. Mirouh, Directeur de thèse . - CONSTANTINE [ALGERIE] : Université Frères Mentouri Constantine, 2011 . - 99 f. ; 30 cm. Une copie electronique PDF disponible en BUC.
Langues : Français ( fre)
| Catégories : |
Sciences Exactes:Physique
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| Tags : |
Couches Minces pulvérisation DC magnétron |
| Index. décimale : |
530 Physique |
| Résumé : |
Ce travail porte sur l‟étude des propriétés physico-chimiques, structurales et optiques des couches minces de carbure de silicium amorphe hydrogéné. Ces couches ont été déposées par pulvérisation magnétron sur deux types se substrats, le silicium monocristallin de type p et le verre Corning pour étudier respectivement leurs caractéristiques physico-chimiques et optiques. Trois températures de dépôt ont été utilisées 150, 250 et 350°C. Les couches ainsi préparées ont été caractérisées, principalement, par DRX, ellipsométrie, UV-Visible, Infrarouge et photoluminescence. L‟analyse par DRX a montré que tous échantillons déposés sont complètement amorphes. L‟investigation infrarouge confirme l‟aspect amorphe du matériau et a révélé l‟existence de plusieurs liaisons chimiques existent (Si-H, C-H, C-C, Si-Hn). L‟épaisseur, l‟indice de réfraction ainsi que le gap optique de chaque couche mince ont été déterminés par l‟ellipsométrie. Les mesures de photoluminescence ont montré un caractère plus photoluminescent pour carbure de silicium amorphe hydrogéné déposé à 250°C. Enfin l‟effet du recuit thermique des couches a-SiC : H a été étudié. |
| Diplome : |
Master 2 |
| Permalink : |
https://bu.umc.edu.dz/master/index.php?lvl=notice_display&id=6394 |
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Elaboration et étude de couches minces de a-SiC:H déposées par pulvérisation DC magnétron
