Titre :	Caractérisation d’un réacteur RCER par la sonde électrostatique de Langmuir
Type de document :	texte imprimé
Auteurs :	Khadidja Siari, Auteur ; Imene Belmerabet., Auteur ; S Mouissat, Directeur de thèse
Editeur :	CONSTANTINE [ALGERIE] : Université Frères Mentouri Constantine
Année de publication :	2013
Importance :	45 f.
Format :	30 cm.
Note générale :	Une copie électronique PDF disponible en BUC.
Langues :	Français (fre)
Catégories :	Sciences de la technologie:Electronique
Index. décimale :	610 Electronique
Résumé :	Dans ce travail nous avons mené une étude de l'effet des paramètres de dépôt (puissance de décharge et taux d'oxygène additif dans le mélange plasma) sur la valeur de l’épaisseur des films minces déposés par plasma micro-onde dans un réacteur RCER à partir de HMDSO seul ou mélangées avec des proportions d'oxygène. Parmi les paramètres électriques principaux qui vont agir sur la nature et les propriétés des dépôts assistés par plasma les densités et les températures électroniques, ce travail a pour objectif de déterminer par sonde électrostatique ces dernières en fonction de la puissance et la position de la sonde dans le réacteur
Diplome :	Master 2
Permalink :	https://bu.umc.edu.dz/master/index.php?lvl=notice_display&id=8543

Caractérisation d’un réacteur RCER par la sonde électrostatique de Langmuir [texte imprimé] / Khadidja Siari, Auteur ; Imene Belmerabet., Auteur ; S Mouissat, Directeur de thèse . - CONSTANTINE [ALGERIE] : Université Frères Mentouri Constantine, 2013 . - 45 f. ; 30 cm.
Une copie électronique PDF disponible en BUC.
Langues : Français (fre)

Catégories :	Sciences de la technologie:Electronique
Index. décimale :	610 Electronique
Résumé :	Dans ce travail nous avons mené une étude de l'effet des paramètres de dépôt (puissance de décharge et taux d'oxygène additif dans le mélange plasma) sur la valeur de l’épaisseur des films minces déposés par plasma micro-onde dans un réacteur RCER à partir de HMDSO seul ou mélangées avec des proportions d'oxygène. Parmi les paramètres électriques principaux qui vont agir sur la nature et les propriétés des dépôts assistés par plasma les densités et les températures électroniques, ce travail a pour objectif de déterminer par sonde électrostatique ces dernières en fonction de la puissance et la position de la sonde dans le réacteur
Diplome :	Master 2
Permalink :	https://bu.umc.edu.dz/master/index.php?lvl=notice_display&id=8543