| Titre : |
Etude par micro-raman et diffraction des rayons X des couches minces de silicium amorphe riche en carbone irradiées par faisceau laser |
| Type de document : |
texte imprimé |
| Auteurs : |
Yacine Lazhar Habbeche, Auteur ; Mouad Harabi, Auteur ; Kamel Mirouh, Directeur de thèse |
| Editeur : |
CONSTANTINE [ALGERIE] : Université Frères Mentouri Constantine |
| Année de publication : |
2013 |
| Importance : |
79 f. |
| Format : |
30 cm. |
| Note générale : |
Une copie electronique PDF disponible en BUC. |
| Langues : |
Français (fre) |
| Catégories : |
Sciences Exactes:Physique
|
| Tags : |
Physique des Couches Minces micro-raman |
| Index. décimale : |
530 Physique |
| Résumé : |
Ce travail de master porte sur les traitements laser des couches minces de silicium amorphe
riche en carbone. Ces couches, d’épaisseur avoisinant 1000 Å, ont été déposées par la
pulvérisation DC magnétron, pour 500 et 550°C, sur du silicium monocristallin d’orientation
(100). Elles ont été irradiées par le laser YAG, de 20 ns de durée, pour différentes densités
d’énergie et différents nombres d’impulsions laser. La caractérisation a été effectuée,
essentiellement, par la diffraction des rayons X et la micro-spectroscopie raman pour deux
sources laser (633 et 532 nm). Les résultats obtenus ont montré la formation du carbure de
silicium bien avant les traitements laser. Ces derniers n’ont fait que développer la synthèse de
SiC et entrainant l’élaboration des polytypes 4H-SiC, 6H-SiC et 15R.
La décomposition de SiC induites les énergies laser élevées a été étudiée |
| Diplome : |
Master 2 |
| Permalink : |
https://bu.umc.edu.dz/master/index.php?lvl=notice_display&id=6292 |
Etude par micro-raman et diffraction des rayons X des couches minces de silicium amorphe riche en carbone irradiées par faisceau laser [texte imprimé] / Yacine Lazhar Habbeche, Auteur ; Mouad Harabi, Auteur ; Kamel Mirouh, Directeur de thèse . - CONSTANTINE (Route Ain el bey, BP 325, ALGERIE) : Université Frères Mentouri Constantine, 2013 . - 79 f. ; 30 cm. Une copie electronique PDF disponible en BUC. Langues : Français ( fre)
| Catégories : |
Sciences Exactes:Physique
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| Tags : |
Physique des Couches Minces micro-raman |
| Index. décimale : |
530 Physique |
| Résumé : |
Ce travail de master porte sur les traitements laser des couches minces de silicium amorphe
riche en carbone. Ces couches, d’épaisseur avoisinant 1000 Å, ont été déposées par la
pulvérisation DC magnétron, pour 500 et 550°C, sur du silicium monocristallin d’orientation
(100). Elles ont été irradiées par le laser YAG, de 20 ns de durée, pour différentes densités
d’énergie et différents nombres d’impulsions laser. La caractérisation a été effectuée,
essentiellement, par la diffraction des rayons X et la micro-spectroscopie raman pour deux
sources laser (633 et 532 nm). Les résultats obtenus ont montré la formation du carbure de
silicium bien avant les traitements laser. Ces derniers n’ont fait que développer la synthèse de
SiC et entrainant l’élaboration des polytypes 4H-SiC, 6H-SiC et 15R.
La décomposition de SiC induites les énergies laser élevées a été étudiée |
| Diplome : |
Master 2 |
| Permalink : |
https://bu.umc.edu.dz/master/index.php?lvl=notice_display&id=6292 |
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