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Auteur Fayçal Boulsina |
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Affiner la recherche Interroger des sources externesContribution à l'amélioration de la résolution en profondeur lors de l'analyse SIMS par déconvolution / Fayçal Boulsina
Titre : Contribution à l'amélioration de la résolution en profondeur lors de l'analyse SIMS par déconvolution Type de document : texte imprimé Auteurs : Fayçal Boulsina ; Univ. de Constantine, Éditeur scientifique ; M. Benouakta, Directeur de thèse Année de publication : 2003 Importance : 62 f. Note générale : 01 Disponible à la salle de recherche 02 Disponibles au magazin de la bibliothèque centrale Langues : Français (fre) Catégories : Français - Anglais
ElectroniqueTags : SIMS Fonction de résolution Déconvolution Multi deltas dopage Index. décimale : 621 Electronique Permalink : index.php?lvl=notice_display&id=2304 Contribution à l'amélioration de la résolution en profondeur lors de l'analyse SIMS par déconvolution [texte imprimé] / Fayçal Boulsina ; Univ. de Constantine, Éditeur scientifique ; M. Benouakta, Directeur de thèse . - 2003 . - 62 f.
01 Disponible à la salle de recherche 02 Disponibles au magazin de la bibliothèque centrale
Langues : Français (fre)
Catégories : Français - Anglais
ElectroniqueTags : SIMS Fonction de résolution Déconvolution Multi deltas dopage Index. décimale : 621 Electronique Permalink : index.php?lvl=notice_display&id=2304 Exemplaires (1)
Code-barres Cote Support Localisation Section Disponibilité BOU/3992 BOU/3992 Thèse Bibliothèque principale Thèses Disponible 
Titre : Contribution à l'amélioration de la résolution en profondeur lors de l'analyse SIMS par des techniques de traitement du signal. Type de document : texte imprimé Auteurs : Fayçal Boulsina, Auteur ; S. Latreche, Directeur de thèse Editeur : Constantine : Université Mentouri Constantine Année de publication : 2009 Importance : 164 f. Format : 30 cm. Note générale : 01 Disponible à la salle de recherche 02 Disponibles au magazin de la B.U.C. 01 CD Langues : Français (fre) Catégories : Français - Anglais
ElectroniqueTags : Semiconducteurs Régularisation SIMS Déconvolution Résolution en profondeur Filtrage microélectronique depth resolution deconvolution regularization filtering microelectronic Index. décimale : 621 Electronique Résumé :
The improvement of the depth resolution of Secondary Ions Mass Spectrometry (SIMS) analysis for the actual needs of microelectronics is necessary. In this work, we chose to improve the depth resolution by signal processing techniques, in particular the deconvolution. A deconvolution technique is proposed. It is able to produce regular solutions similar to those obtained by Van Cittert with Tikhonov-Miller regularization and hard constraints algorithm (algorithm already proved its effectiveness in SIMS) with a faster convergence. Moreover, by using the proposed algorithm the gains in depth resolution and in maximum are better than those achieved using the algorithm of Van Cittert regularized and constrained. Techniques to overcome the limits of the partial deconvolution procedure are also proposed. It was shown that the amplification of the
noise can be controlled by filtering the measured profile before the application of the deconvolution or by applying the partial deconvolution procedure through Tikhonov-Miller regularization. The two problems amplification of the noise and appearance of negative values in the deconvolved profiles can be treated by using iterative methods.Diplôme : Doctorat en sciences En ligne : ../theses/electronique/BOU5381.pdf Format de la ressource électronique : Permalink : index.php?lvl=notice_display&id=2828 Contribution à l'amélioration de la résolution en profondeur lors de l'analyse SIMS par des techniques de traitement du signal. [texte imprimé] / Fayçal Boulsina, Auteur ; S. Latreche, Directeur de thèse . - Constantine : Université Mentouri Constantine, 2009 . - 164 f. ; 30 cm.
01 Disponible à la salle de recherche 02 Disponibles au magazin de la B.U.C. 01 CD
Langues : Français (fre)
Catégories : Français - Anglais
ElectroniqueTags : Semiconducteurs Régularisation SIMS Déconvolution Résolution en profondeur Filtrage microélectronique depth resolution deconvolution regularization filtering microelectronic Index. décimale : 621 Electronique Résumé :
The improvement of the depth resolution of Secondary Ions Mass Spectrometry (SIMS) analysis for the actual needs of microelectronics is necessary. In this work, we chose to improve the depth resolution by signal processing techniques, in particular the deconvolution. A deconvolution technique is proposed. It is able to produce regular solutions similar to those obtained by Van Cittert with Tikhonov-Miller regularization and hard constraints algorithm (algorithm already proved its effectiveness in SIMS) with a faster convergence. Moreover, by using the proposed algorithm the gains in depth resolution and in maximum are better than those achieved using the algorithm of Van Cittert regularized and constrained. Techniques to overcome the limits of the partial deconvolution procedure are also proposed. It was shown that the amplification of the
noise can be controlled by filtering the measured profile before the application of the deconvolution or by applying the partial deconvolution procedure through Tikhonov-Miller regularization. The two problems amplification of the noise and appearance of negative values in the deconvolved profiles can be treated by using iterative methods.Diplôme : Doctorat en sciences En ligne : ../theses/electronique/BOU5381.pdf Format de la ressource électronique : Permalink : index.php?lvl=notice_display&id=2828 Exemplaires (1)
Code-barres Cote Support Localisation Section Disponibilité BOU/5381 BOU/5381 Thèse Bibliothèque principale Thèses Disponible
